“光刻”凭海科谈｜“抢跑”的光刻机

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南方财经全媒体记者江月 上海报道 在刚刚过去的三季度，不少人都关心一家身处荷兰埃因霍温的公司，它牵动着全球6000亿元产值的半导体产业链。这家公司就是阿斯麦，它是全球光刻机的寡头型供应商，因此也是测试全球半导体行业冷热的“温度计”。

在今年7月至9月，该公司销售了价值43.55亿欧元的光刻机，创造了十个季度以来的最高水平。细分数字显示，该公司的EUV（极紫外线）光刻机设备销量大增，反映全球半导体制造商在更微小纳米结构上竞争激烈。

当地时间10月19日，该公司首席执行官温彼得（Peter Wennink）还在业绩沟通电话会上表示，5%的未交付订单在地缘政治影响下恐将受到出口管制。推算之下，来自中国客户的1/3订单都将受到影响。

EUV销量大增

仅仅在第三季度，阿斯麦出货了13台EUV光刻机。温彼得在业绩电话会上透露的上述数字令市场感到吃惊。

仔细对比历史数字，会发现第三季度总是EUV的出货旺季。2021年第三季度里，EUV的确认收入几乎达到了前两个季度的总和。

今年四月，温彼得曾说，全年的EUV销售目标是55台，但有一部分收入要延迟到明年确认。总体来说，今年EUV的销售额会按年增长25%。

EUV是一种昂贵的大型系统型设备，按照第三季度里12台EUV确认21.7亿欧元销售额来计算，一台EUV的售价就高达1.8亿欧元。

除了EUV以外，阿斯麦还生产DUV（深紫外光）光刻机和计量检测系统。和EUV相比，DUV的光源波长更宽，所适配的工艺更为“粗线条”。

尽管阿斯麦已经在快马加鞭地出货EUV，但更多的订单像雪花一样飘进来。季度新订单的金额为89亿欧元，其中EUV贡献了38亿欧元，占比约43%。

EUV能加工20纳米以下的精密芯片，不过这种芯片价格昂贵，通常被用在利润率丰厚、被消费者“猎奇”买单的最新消费电子产品里，例如最新款的手机、辅助驾驶器件、用于人工智能模型训练的高速计算芯片等。日常生活中大多数电子产品里，用28纳米及更“粗”工艺加工的芯片才是主流。

显然，采购EUV的比例比全球对先进制程芯片的实际需求比重要高，只能说明阿斯麦的客户们在加紧“囤货”EUV。

尽管日本企业也在光刻机领域有一席之地，但阿斯麦在EUV领域的市场占比高达95%。因此有人认为，阿斯麦占据市场“高地”，能洞悉全球芯片的流向。

然而，温彼得在10月19日的电话会上说“没有人能串联所有的珠子”，他无法洞悉EUV与环球半导体产业冷热之间的具体关系。

销售受阻

正值全球“抢货”EUV之际，阿斯麦的销售却正在遭到横加阻拦。电话会上，温彼得坦言，有5%的待出货订单受到地缘政治影响。这反映了半导体的商业社会里，一种无形的力量在施加压力。

“如果别的供应商对一些工厂断供，也会影响到我们。因为如果没有配套设备，客户还有什么必要购买光刻机？”温彼得称。该公司正在持续评估和关注一些国际出口管制条例。

由于中国客户对阿斯麦的采购量约占15%到20%，温彼得透露的数字说明，最坏的情况里，中国1/3的订单受到了阻挠。

回顾阿斯麦的历史，这家公司的崛起基于荷兰的制造业，技术基于全球多个国家的合作，融资也来自全球各地。

上世纪80年代，荷兰飞利浦已经是一家接近百年历史的电器巨头。由于萌芽的光刻机成本过重，飞利浦将这项业务进行了剥离。

1984年，飞利浦和ASM合资成立了一家光刻机公司，成为阿斯麦的雏形。这家公司在高昂的研发成本下，长期从事着一向不以赚钱为目的的工作。

直到21世纪之初，时任台积电研发副经理的林本坚提出了“浸没式光刻技术”，随后台积电和阿斯麦共同研发的浸没式光刻机一举成名，令阿斯麦的全球市场份额从不足10%一路提升，并超过了尼康等日本竞争者，成为全球寡头型的光刻机制造商。

事实上，阿斯麦的光刻机正是国际合作的产物。除了台积电的理论支持，该公司使用德国蔡司的镜头以及全球大大小小企业的各种零部件，绝非某一单一国家技术独大的产物。

（作者：江月 编辑：陶力）

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